縮小投影倍率5倍 i線ステッパーNSR-2205iL1
2023年8月31日発表 New Product Information
多様なプロセス要望に応えつつ
既存装置との互換性を兼ね備える露光装置です
NSR-2205iL1は、多様な半導体デバイスに対応可能なi線ステッパーです。コストパフォーマンスに優れ、ウェハ素材を選ばず、さまざまな半導体デバイスの効率的な生産に貢献します。ニコンの既存のi線露光装置との互換性が高く、置き換えにも最適です。
紹介映像
NSR-2205iL1の特長
特長1:多様なニーズに対応 高いコストパフォーマンス
パワー半導体、通信用半導体、MEMSなど
さまざまなデバイスに対応します
製品ポジショニングマップ
- さまざまウェハサイズ、厚み、反りに対応
- お客様の使用範囲を拡張するウェハサイズ切り替えに対応
- Wide DOF(焦点深度の範囲拡大)と多点AF(オートフォーカス)を搭載
- 化合物半導体プロセスへの対応を強化
特長2:ニコンの既存装置との優れた互換性
特長3:長期サポートを目指した設計
マスクやレシピなどのお客様資産がご利用可能です
お客様のデバイス生産を支え続け
今後もお客様とのビジネスパートナーであることを目指しています
NSR-2205iL1の主な仕様
解像度 | ≦ 350 nm*1 |
---|---|
NA | 0.45 |
露光光源 | i-line (365 nm wavelength) |
縮小倍率 | 1:5 |
最大露光範囲 | 22 mm × 22 mm |
重ね合わせ精度 | SMO*2: ≦ 70 nm*1 |
主要オプション |
|
- *1オプション適用時
- *2Single Machine Overlay:同一号機間の重ね合わせ精度
詳細はこちらをご覧ください。
出展情報
- SEMICON Japan 2024
2023年12月11日~13日 東京ビッグサイト
- SEMICON Korea 2025
2024年2月19日~21日 COEX, Seoul, Korea
- SEMICON China 2025
2024年3月26日~28日 Shanghai New International Expo Centre, Shanghai, China
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