縮小投影倍率5倍 i線ステッパーNSR-2205iL1
2023年8月31日発表 New Product Information
多様なプロセス要望に応えつつ
既存装置との互換性を兼ね備える露光装置です
NSR-2205iL1は、多様な半導体デバイスに対応可能なi線ステッパーです。コストパフォーマンスに優れ、ウェハ素材を選ばず、さまざまな半導体デバイスの効率的な生産に貢献します。ニコンの既存のi線露光装置との互換性が高く、置き換えにも最適です。
紹介映像
NSR-2205iL1の特長
特長1：多様なニーズに対応 高いコストパフォーマンス
パワー半導体、通信用半導体、MEMSなど
さまざまなデバイスに対応します
製品ポジショニングマップ
- さまざまウェハサイズ、厚み、反りに対応
- お客様の使用範囲を拡張するウェハサイズ切り替えに対応
- Wide DOF（焦点深度の範囲拡大）と多点AF（オートフォーカス）を搭載
- 化合物半導体プロセスへの対応を強化
特長2：ニコンの既存装置との優れた互換性
特長3：長期サポートを目指した設計
マスクやレシピなどのお客様資産がご利用可能です
お客様のデバイス生産を支え続け
今後もお客様とのビジネスパートナーであることを目指しています
既存のマスクやレシピを流用可能
メンテナンス性の向上
長期使用を意識し、部品レベルから装置設計を見直し
NSR-2205iL1の主な仕様
| 解像度 | ≦ 350 nm*1 |
|---|---|
| NA | 0.45 |
| 露光光源 | i-line (365 nm wavelength) |
| 縮小倍率 | 1:5 |
| 最大露光範囲 | 22 mm × 22 mm |
| 重ね合わせ精度 | SMO*2: ≦ 70 nm*1 |
| 主要オプション |
|
- *1オプション適用時
- *2Single Machine Overlay：同一号機間の重ね合わせ精度
詳細はこちらをご覧ください。
出展情報
- SEMICON SEA 2024
2024年5月28日～30日 MITEC, Kuala Lumpur, Malaysia
- SEMICON WEST 2024
2024年7月9日～11日 Moscone Center, San Francisco, CA, U.S.A.
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